超純水設(shè)備作為是一種采用預(yù)處理、反滲透、EDI處理技術(shù)用于生產(chǎn)超純水的設(shè)備。超純水的誕生可有效的去除了水中的雜質(zhì)和懸浮物，電阻率達(dá)到18 MΩ*cm(25℃)，幫助芯片、單晶硅、半導(dǎo)體等行業(yè)實(shí)現(xiàn)清潔生產(chǎn)。

　　作為制備超純水的設(shè)備來(lái)說(shuō)，其在運(yùn)行中如何維護(hù)保養(yǎng)便是十分重要的。下面我就來(lái)簡(jiǎn)單介紹日常保養(yǎng)會(huì)遇到的問(wèn)題。

　　問(wèn)題一：超純水設(shè)備的管道怎樣清洗。

　　答：開(kāi)始時(shí)使用超純水沖洗管內(nèi)雜質(zhì)，第二遍、第三遍使用雙氧水清洗消毒，第四遍可應(yīng)用超純水將管內(nèi)雙氧水殘液沖洗干凈。

　　問(wèn)題二：超純水設(shè)備如何消毒。

　　答：設(shè)備可在清洗水箱中加入1200LRO產(chǎn)水，緩緩加入約10kg25%的H2O2溶液，配制0.2%的H2O2溶液，用清洗泵自循環(huán)10分鐘，使溶液混合均勻。

　　問(wèn)題三：設(shè)備長(zhǎng)期停運(yùn)時(shí)如何保養(yǎng)。

　　答：短期停機(jī)(不超過(guò)三天)，每天必須用保安過(guò)濾器沖洗30分鐘并保證RO組件內(nèi)充滿過(guò)濾水。RO裝置如長(zhǎng)期停機(jī)(大于三天)，應(yīng)采用1%甲醛溶液，充滿RO組件，然后關(guān)閉所有閥門(mén)，且每月檢查一次。

　　問(wèn)題四：超純水拋光樹(shù)脂應(yīng)該如何保管?

　　答：防凍，超純水拋光樹(shù)脂的保存環(huán)境需在周圍環(huán)境>40℃情況下，如果溫度低于5℃，為防止樹(shù)脂結(jié)冰，可以把樹(shù)脂放在食鹽水溶液中。

　　防干，由于超純水拋光樹(shù)脂在使用或儲(chǔ)運(yùn)中水份消失，在發(fā)生此種情況時(shí)，切不可把樹(shù)脂直接投落水中，而是先將其浸泡于飽和食鹽水中，使其緩慢膨脹不致破碎。

　　防霉，超純水拋光樹(shù)脂長(zhǎng)期放置在交換器內(nèi)不用，會(huì)造成青苔滋長(zhǎng)和繁殖細(xì)菌，導(dǎo)致樹(shù)脂發(fā)霉污染，必須定期進(jìn)行換水和反沖洗。

　　以上，就是關(guān)于超純水設(shè)備日常保養(yǎng)會(huì)遇到的問(wèn)題總結(jié)。超純水設(shè)備不僅占地空間小，而且在日常維護(hù)和操作過(guò)程種也是非常簡(jiǎn)單，可為電子產(chǎn)業(yè)輸送高純凈的超純水。