顧名思義，超純水是純度非常高的水。這種水也叫UP水。判斷水是否為超純水的標準是該水在25℃時電阻率能否達到18mΩ*cm。也就是說，邊長為1厘米的超純水立方體兩側之間的電阻可以達到18千歐姆。電阻率能反映水的純度。電阻率越大，水的純度越高。

　　超純水是通過蒸餾、去離子、反滲透技術或其他適當的超臨界精細技術生產的水，用于開發超純材料。其電阻率大于18MΩ*cm或接近極限值18.3MΩ*cm(25℃)。

　　超純水在我們的日常生活中很少見。一般來說，只有在實驗室里，我們才能對水的純度有如此高的要求。在超純水中，除了水分子外，幾乎沒有其他物質。超純水中既找不到細菌也找不到微量元素。

　　因為超純水的含鹽量特別低，如果人類長期飲用這種水，體內的滲透壓會發生變化，這可能會導致體內細胞的膨脹。顯然，日本儲存了如此多的超純水，不是為了飲用，而是為了一些實驗，這實際上與中微子有關。

　　制備超純水可采用雙反+EDI+拋光混床工藝。反滲透系統利用反滲透原理，主要去除水中的溶解鹽、有機物、膠體和大分子。降低水質中的離子含量。EDI不需要酸堿再生。這是一種新的脫鹽方法。EDI無需回收化學品，運行成本低，EDI系統自動化程度高，連續運行，出水水質良好穩定，出水電阻率高≥ 15mΩ·cm。拋光混床用于高純水處理系統的末端凈化器。設計、制造和生產的半導體級混床離子交換樹脂可將水中離子含量降至PPB級，出水電阻率可達18.2mΩ·cm。