超純水是電子行業中常用的術語，但在其他行業諸如太陽能光伏，制藥，發電以及研究實驗室等也被使用到。雖然每個行業都使用所謂的“超純水”，但質量標準各不相同。即使在電子行業中，不同應用諸如半導體、液晶面板及各種電子元器件，對超純水的要求也各不相同。其中半導體中代表了“超純水”使用的高等級，這也是我們在此要討論的內容。

　　超純水制備主要包括以下三個階段，即初步吸附過濾階段、反滲透凈化階段和樹脂離子交換階段。其中，離子交換即是將水中的正離子與離子交換樹脂中的H+離子交換，水中的負離子與離子交換樹脂中的OH-離子交換，從而達到純化水的目的。具體說來主要有以下步驟：

　　1.原水：可用自來水或普通蒸餾水或普通去離子水作原水。

　　2.預處理系統：原水箱、原水泵、石英砂過濾器、活性炭過濾器、換熱器、阻垢劑系統。

　　3.雙級反滲透系統：保安過濾器、RO高壓泵、反滲透系統。反滲透膜可濾除95%以上的電解質和大分子化合物，包括膠體微粒和病毒等。由于絕大多數離子的去除，使后段離子交換柱的使用壽命大大延長。

　　4.EDI系統：EDI的作用就是通過除去電解質(包括弱電解質)的過程，將水的電阻率從0.05～1.0MΩ·cm提高到5～16MΩ·cm。

　　5.拋光樹脂：無化學析出的核子級樹脂，去除純水中殘余的微量帶電離子及弱電解質，使水質達到18MΩ·cm以上。

　　6.終端超濾：能有效地去除水中的微粒、膠體、細菌、熱源和有機物力。是整套系統最后的防火墻，確保產出的高純水不受二次污染。

　　就目前來看，EDI超純水設備行業內競爭非常激烈，國內就有很多制造超純水設備的廠家，在強大的超純水制備工藝的前提下，國產超純水設備受到了人們的青睞，國產超純水設備同樣能夠做到出水質量的高純度。

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　　編輯：柒柒   技術：米